層面粗糙度印刷質量樣品分析圖像顯微鏡廠家
印刷晶體管構造時關鍵的工藝集成問題
此時，我們需要考慮生產印刷晶體管時丁藝整合巾的各種問題。這些
問題反過來又會影響各層所選用的材料。
層面粗糙度 印刷晶體管是一種多層的復雜設備。因此，每一單獨
層面的粗糙度是關鍵的參數。下層的粗糙度會對上層的粗糙度、覆蓋率和
針孔等因匝習素產生直接的影響。因此，粗糙度是一個關鍵的工藝參數。
考慮到經典的流體問題，盡管總體粗糙度也非常重要，但高頻粗糙度（即
尖峰）通常是最關鍵的參數。在頂柵型結構中，半導體的粗糙度尤為重要
，而在底柵型結構中，柵極的粗糙度則是最重要的參數。
針孑L——在場效應晶體管中，柵極電介質通常被認為是關鍵性部件。
從丁藝整合和生產的角度來看，這一點對于印刷晶體管來說也是毋庸置疑
的。柵極電介質層不能出現氣孑L是非常重要的，這是㈥為氣孔會導致設備
短路，功能喪失。反過來說，針孑L同粗糙度和潤濕特性等密切相關，因此
，層與層之間的優化在這里就顯得尤為重要。
階梯覆蓋率 從前文的工藝流程圖可以很明顯地看出，印刷晶體管
本身就有大量的橫斷面拓撲結構。因此，階梯覆蓋率在過程優化中是非常
重要的參數�？紤]到大粒徑顆粒覆蓋（通常粒徑為幾十納米或者更大）以
及其后相對較薄的片層，片層間的完全覆蓋就顯得尤為重要；在多層印刷
的過程中，印刷所用的液體必須能夠包覆片層的垂直面。這對材料的流體
黏度，蒸發率和潤濕性等提出了要求。
