圓片生產線圖形測量的應用分析圖像顯微鏡

    圖形測量的應用
    眾所周知，在掩膜制備中，當需要進行大量的測試時，測試設備本身
的可靠性和精度就顯得十分重要。我們已經討論了圖形測量的基本應用，
也即對掩膜圖形尺寸的測量。掩膜制備車間在完成自己的所有工藝步驟之
后，必須檢查掩膜版上圖形的臨界尺寸，然后才能交付紿圓片生產線。

在圓片生產線中，必須對掩膜版圖形的臨界尺寸進行第二次檢查，才能將掩
膜版用到光刻機上進行對準曝光。圓片顯影后，還需對光刻膠圖形進行測
量。假如光刻膠圖像尺寸的誤差超出規定范圍，那么有問題的掩膜版還需
再次檢查，而圓片則要再次成像并再次測量臨界尺寸。集成電路制成后，
經過終端的電氣測試方能確定圖形尺寸是否正確。

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