光學顯微鏡是掩膜測量中最廣泛使用的工具
光顯微技術
光學顯微鏡是掩膜測量中最廣泛使用的工具。在掩膜制備過程中，有
好幾個步驟需要測量和檢驗。光學顯微鏡適合于生產性操作，因為它們的
體積較小，而且技術人員能很快掌握操作技術，包括能很快掌握拍攝后立
即沖洗的35mm寬的膠卷的使用技術。光學顯微鏡盼精度在P定范圍內能符合
需要
平臺測微器是安裝在顯微鏡xy平臺上的簡單的玻璃顯微鏡滑塊，它包
括一個刻度或一套圖形，其增量以毫米為單位，而每一個標準滑塊用于每
一個單獨的放大倍數。一般的顯微鏡加上三個這樣的滑塊就形成了一個有
用的系統，它的檢驗和測量的范圍很寬。如想對每一個放大倍數都有一個
獨立的測微器，那么最簡單的辦法是，當改變放大倍數時，只需使用一個
微米標尺然后再校準顯微鏡就可以了，
十字叉絲目鏡是用于小尺寸測量的另一種顯微鏡附件，它的測量精度
遠高于平臺測微器。十字叉絲測微器所以能獲得高的測量精度，是因為它
將被測區域分成較小的單元或者大量的被測小區。實現這個功能的機械是
一個旋轉鼓，它使360。的旋轉周角分成有足夠靈敏度的1 00個等分，當用
手緩慢旋轉鼓時，通過目鏡可以看封十字叉絲穿過視場慢慢移動。進行每
次測量前，都必須校準旋轉鼓；十字叉絲測微器的優點是測量的速度比較
快。一般的較簡單的目鏡測微器的靈敏度較低，因為校準標尺是在目鏡上
刻蝕或復印形成的，而且必須移動戈y平臺才能進行測量讀出。
一數字化顯微鏡是一個包括讀出計數器在內的光學顯微測量系統，它不
僅減輕了每次測量時需明確辨別像邊緣的費力工作，而且還可以與電子打
印機配合實現對測量結果的打印。數字讀出和記錄打印大大減輕了操作人
員的眼疲勞和大大減小了誤測量的機會。假如使用閉路電視，測量讀出就
變得更為簡單，因為在監視器屏幕上，像被增大若干倍，而旦能使幾個人
同時看到圖像
