不同的科研工業實驗細節微觀層析孔壁微觀特征
中等分辨率微觀層析照相術
要實現lOμm的分辨率(中分辨率)，可采用錐形光束系統，這
種系統以傳統的微焦點X射線管為光源。這種裝置在INSA(法國里昂
)的CNDRI實驗室已經配備。用這種系統，在光源和探測器之間可通
過調整樣品的位置來改變放大倍數。分辨率的極限值取決于微焦點
尺寸，它決定了目標圖像的清晰度。這個尺寸有一定的最小限定值
，因為假如光源尺寸太小，樣品面上的光流量會變得太低以至于分
析系統記錄一張圖像所需的時問太長。在這種實驗設備裝置中，可
用多色光源以保證合適的記錄時間。但這樣又可能會由于光束硬化
而引入人為的干涉，且還不能實現吸收系數p的定量重構。
現在，在很多不同的科研和工業實驗室都已具備這種標準的儀
器設備裝置，同時還有許多商用的便攜式高分辨率(可小至69m)儀
器可供選擇。
例如，部件的平均密度是宏觀參數，問題是：在連續生產中指定部
件密度的可重現性是怎樣的?相關性能的分散度變化多大是可以接
受的?給定部件在平均密度一定時，其性能也是分散的，因為部件
的內部存在局部的密度分散，這可歸類于介觀水平上的變化。進一
步的結構細節屬微觀水平，形狀因二F、孔壁和結點的尺寸和微觀
特征上的變化都必須根據可接受的微觀變化范圍進行統計量化和評
估。
