陶瓷制作電子元件燒滲工藝樣品分析顯微鏡
電極制備
用陶瓷制作電子元件，必須有電極，常常把銀電極漿料，涂布
于試片的上下表面，再經高溫(500～600℃)燒滲工藝，在瓷片上形
成銀白色導電銀層，以供通電之用。施加電極的方法有多種：燒銀
電極、化學鍍鎳電極、噴鋁電極、噴銅電極、濺射銀電極、蒸發金
屬電極等。
電極質量優劣，直接影響使用效果。例如打火機用的壓電點火
元件或噴霧設備中用的壓電超聲元件，如果電極不過關，多次打火
沖擊下，電極損壞，就不能點火。噴霧設備例如假山中人造噴泉，
本來可噴幾十公分高水柱，但多次噴射后越噴水柱愈低，最后噴不
出來了，這是由于多次超聲噴水，銀電極在劇烈振動中脫離陶瓷之
故，所以超聲用壓電元件電極和瓷體，必須特別牢固粘合，這和銀
漿中玻璃相組成關系很大。有時電極各處的厚薄分布不均，通電時
薄層處電流密度過高，使局部電極燒毀。這種局部溫升，可引起瓷
體內微裂，再加上電場分布不均，會增加擊穿的幾率。在絲網印刷
或火焰噴鋁電極的邊緣，如果出現參差不齊，有毛刺，將易于造成
打耐壓時的邊緣跳火及短路。電極層的厚度，對材料性能也有影響
，例如PTC元件的阻值經時老化，就與它有關。不同應用場所，使
用不同的電極。對于半導體瓷，不能使用一般的燒滲銀電極，因為
金屬層和半導體之間，會產生中間接觸電阻，數值可達千歐姆。這
是由于n型半導體表面吸附氧分子后，氧分子與半導瓷表面層中電
子，產生化學吸附，使這些充當載流子的電子被氧俘獲，使載流子
濃度減少，產生正空間電荷區，構成高阻層。
