電子顯微鏡可達到約1nm橫向分辨率和聚焦深度

電子顯微鏡可以達到約1nm的橫向分辨率和極高的聚
焦深度，但是其高度的信息只能是定性的；如果在不同的傾
斜條件下拍攝圖像，可以實現部分的定量分析。此外，電子
顯微鏡要求被測樣品必須具有導電表面。
空間頻率帶寬是表面粗糙度或斜率誤差參數的一個必
要部分，儀器傳遞函數是測量的一個必要的參考。沒有
任何一個儀器可以涵蓋測量的整個頻帶范圍。
    可配軟件光學測試系統(SC()TS改變了哈特曼測試
將屏幕條紋圖像成像在計算機顯示器的狀況。屏幕上的一
個像素可以通過攝像機來獲取，由于攝像機安裝的位置與被
測表面的法線具有相同的角度，所以被測表面的局部斜率可
以通過平面鏡成像在攝像機上．因而表面的面形可以通過積
分運算獲得。由于整個屏幕可以由迅速變化的條紋進行照
明，而且攝像機可以直接與筆記本電腦或平板電腦連接．這
種測量方法的硬件造價不再昂貴，而且測量迅速。

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