理想材料折射率與表面誤差質量檢測顯微鏡
·理想材料折射率門與表面誤差占z,和如。的乘積; ·材料折射率的公差值與理想表面函數z,和z:的乘積。 很明顯,加工公差值和材料公差值對波前相位公差的影響相同。 制造與測量誤差 在加工過程中,會引入加工誤差,包括光學元件表面與面形函數設計值間的面形誤差,所選擇材料的折射率與材料庫中材料折射率的偏差a7行。將這些誤差添加到測量誤差中,就形成了期望加工誤差的預測值。
設計人員利用加工誤差可以計算出波前的相位偏差,,然后與設計的相位容限值泐h,比較,如果加工誤差值比設計值大,通常情況下這個透鏡就是廢品。但是,如果這個透鏡比較貴重,也可以采用以下幾種方式進行處理: ·由于系統中其他透鏡具有更好的性能,補償此透鏡的不足; ·此透鏡可以通過重修實現預期性能;
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