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理想材料折射率與表面誤差質量檢測顯微鏡




來源:yiyi
時間:2018-5-26 1:40:20

理想材料折射率與表面誤差質量檢測顯微鏡

    ·理想材料折射率門與表面誤差占z,和如。的乘積;
    ·材料折射率的公差值與理想表面函數z,和z:的乘積。
    很明顯,加工公差值和材料公差值對波前相位公差的影響相同。
    制造與測量誤差
    在加工過程中,會引入加工誤差,包括光學元件表面與面形函數
設計值間的面形誤差,所選擇材料的折射率與材料庫中材料折射率的
偏差a7行。將這些誤差添加到測量誤差中,就形成了期望加工誤差的
預測值。

    設計人員利用加工誤差可以計算出波前的相位偏差,,然后與
設計的相位容限值泐h,比較,如果加工誤差值比設計值大,通常
情況下這個透鏡就是廢品。但是,如果這個透鏡比較貴重,也可以
采用以下幾種方式進行處理:
    ·由于系統中其他透鏡具有更好的性能,補償此透鏡的不足;
    ·此透鏡可以通過重修實現預期性能;

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