自準直儀測量精度-高度計可分辨高度約為微米

    自準直儀法測角
    大于10°的角度是量角器可以區分的物理角度，其測量精度可
以達到約15弧分；對于小于2弧分的角度．是干涉儀可以區分的光
束偏離角．其測量精度為0．1弧秒。高度計可分辨的高度約為2μm
。幾種測量儀之間的缺口部分可由
    來填補。基于焦距和探測器．自準直儀的分辨率可以從30到0
．05弧秒，測量范圍從幾度到幾分。
    多數自準直儀是反射式讀取，這意味著讀取的是表面反射角度
．而非(翻倍的)反射鏡偏轉角度。折射和多次反射改變了這一比例
因子。
    在操作中，自準直儀是面向測試或參考對象的，返回光線的位
置是可對比的。這里有兩種基本模式：自身比較和參照對比。對于
平行平板或小楔角，前表面和后表面的返回光線可作比較；對于相
差180。(7c弧度)的情況，以順時針和逆時針返回光線進行比較；
對于任意角度的情況．則需要一個參考件。

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