圓形元件切割成矩形截面分析金相顯微鏡

　　切割
　　切割實際上是兩個方向上的重復鋸切。通常我們希望購買柵格形狀
的材料然后把它切成許多小塊元件。對一塊大晶圓進行上盤、拋光、加
工、清洗、鍍膜等操作，要比對許多小元件進行這些操作容易得多，切
割是最后一步。

　　為了把圓形元件切割成矩形．元件可以是面居中、角居中或任一尺
寸的邊緣居中．仔細規劃可以最大程度提高產量。闡燕褥

　　為了使小元件切口寬度引起的成品損失最小化，可使用窄刀片。窄
的刀片實際上更靈活、更脆弱。恰當的刀片對準、支撐、平衡、冷卻液
流、給進速度是非常關鍵的。方形片可能會引起偏心切割。

　　隨著刀片的磨損，其外邊緣會變得圓滑，這會造成切割時槽底部不
是方形。為了從被切元件上獲得一個平直角邊緣，刀片必須完全切至工
件以下并進入支撐塊，而且應該定期修整。

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