電子圖像檢測可提供比光學顯微鏡更高分辨率

　　使用電子顯微分析方法分析金屬材料試樣，就是利用電子束和
試樣相互作用后，所發生的幾個“事件”。

 總之，二次電子信號主要是用于確定表面
形貌，并提供斷口表面的圖像。已經浸蝕的金相試樣也可使用二次
電子圖像進行檢測，可提供比光學顯微鏡更高的分辨率。背散射電
子信號提供了很好的原子數對比，

　　可用于評估局部的成分差異。許多現代掃描電子顯微鏡允許混
合使用二次電子信號和背散射電子信號，同時提供斷口形貌和成分
信息。較后，電子束和試樣作用后所產生的x射線可用于成分的半
定量分析。雖然x射線的成分分析結果不如電子探傷微觀分析的成
分那樣精確，但用x射線收集到的信息，鑒別相和化合物時會很有
用。x射線分析的分辨率限定在1～2μm，這種方法不適用于精確分
析輕元素(如C、0、N)，除非在設備上配備一個特殊的探測器。

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