微電子集成技術電路板分析圖像顯微鏡廠家
隨著化學微系統的發展，采用集成技術，將以氧化物陶瓷為主的功能材
料集成到Si基板上，用以提高傳感器或驅動器的傳感功能，這一方法已引
起了大家的廣泛關注。最近，微系統不僅應用在脈沖加熱、瞬態分析、具
有自清潔工藝的爐型微氣體傳感器上，而且在微電子學的低功耗、集成方
式及可靠性等方面也有拓展研究。然而，從標準互補金屬氧化物半導體(CM
OS)技術一濺射和氣相化學沉積(CVD)中，并不能經常獲得此功能材料。在
這種情況下，傳感器材料往往是單獨獲得的，需要采用如微系統中“活性
層”這樣的新技術來實現傳感器材料的制備。
對于微型氣體傳感器來說，一少部分科學技術團體認為可以用一些典
型的化學途徑來實現，如傳統的化學沉積或者溶膠一凝膠方法，具有靈敏
度高、可控性好的優點并且用可用量產的粉末材料來代替通過真空系統獲
得的薄膜材料。在這些化學反應方法中．往往通過制作粉末狀功能材料來
獲得所需的相關功能，但這樣會增加處理時間，同時成本也依賴于沉積的
設備以及方式。此外，傳感器或驅動器也可通過一種叫作微縮印刷的技術
來制作，即在微型裝置上涂布預先處理的陶瓷材料來進行制造，這種方法
也在別的文獻中有所敘述。與此同時，應先將功能材料與有機載體相結合
，再通過傳統的絲網印刷或者更加復雜的滴沉積技術(如墨水噴射系統)來
制作功能薄膜。最近的研究報告表明采用沉積技術成功制造出了納米尺度
的陶瓷觸媒轉化器粒子，它可應用在氣體傳感器方面。該方法是一種簡單
、快速的制備方法，且不需要進一步的高溫熱處理。
簡而言之，就是將微型陶瓷模塊組合到一塊雙面拋光的si基板上。
