微打印技術陶瓷材料組裝微型設備制造樣品檢測顯微鏡
在包含傳感器的化學微系統中，需要將氧化物等功能材料集成到硅系
統中。然而，不能一直通過標準的CMOS技術來獲得功能材料。對此類情況
，可以分別制備傳感器材料并將它們植入微系統中。與需要采用真空系統
的薄膜不同，近期研究主要聚焦于析出法等化學方法來制備高質量粉末。
氧化鋁催化劑漿料以及這些漿料如何用于微傳感器和其他設備的研究
結果。也可以利用微打印技術將預處理陶瓷材料組裝在微型設備上以制造
傳感器。通過絲網印刷或更復雜的滴定．沉積技術(如噴墨系統)可以制備
功能薄膜，這樣就能夠將功能材料與有機載體組合起來。作者證明利用類
似的組裝技術，可以成功制備具有納米顆粒的陶瓷催化燃燒室，以用于氣
體傳感器。
光電二極管、太陽電池、發光二極管(LED)和激光二極管等光電器件是
多種高科技系統的基礎。光電設備由具有不同功能的分立元件組成，這些
元件之間的界面通過光纖連接。然而，缺乏高效耦合通常導致光學損失或
增加成本。
整體元件集成可以解決設備耦合帶來的機械運動等問題，從而減少封裝
成本與尺寸。高效集成要求每個組件都能像分立時一樣發揮功效。將納米
材料引入納米光子與光電子器件使之變得可行，這將增加器件的功能性，
如發光、顯示、調制、監測、成像和通信。利用納米結構組合開發的新型
納米器件可以嵌入“芯片級”組件集成的混合架構。此類設備需要利用微
米和納米尺度的芯片級組裝，以實現功能材料和組件的集成，包括單片集
成、混合集成、層層組裝和直接組裝。
