微機電加工、測量系統特點-檢測顯微鏡
微機電系統的特點
多年來，人們一直致力于使產品變得更小巧、更靈活、更智能
，努力實現“機電一體化”。從系統組成來看，微機電系統與傳統
的機電系統一樣，都具有信息感知、信息處理和控制、執行等幾大
組成部分。微機電系統也像普通的機電系統一樣，可以感受運動、
力、光、聲、熱、磁等自然界信號，并將這些信號轉換成電子系統
可以識別的電信號，經過信號處理后(包括模擬／數字信號間的變
換)再通過執行器對外部世界發生作用。但是，微機電系統不是傳
統機電系統在尺寸上的簡單縮小，它在設計思想、力學環境、運動
原理、材料特性、加工、測量和控制等各方面都有了很大甚至是質
的變化。
我們平常使用的機電系統產品，一般需要人直接參與操作，而
微機電系統能在人或人手指達不到的地方工作，人往往不能直接操
縱它，只能依靠微機電系統的智能化工作。因此，微機電系統與傳
統機電系統的控制方法和工作方式是完全不同的。傳統機電系統對
外界環境的變化不敏感，而微機電系統就不同了，它對外界環境的
變化如溫度、濕度、灰塵等都十分敏感，一粒大小為10μm的灰塵
就可以使微齒輪卡死，這是在傳統機電系統中無法想象的。另外，
傳統機電系統直接與外部環境建立聯系，而微機電系統由于本身很
小，一般需要通過光、電、磁、聲等形式與外界進行通信。因此，
微機電系統由于體積小、重量輕、功耗低、設計思想獨特、JJn-r_
方法特殊而具有不同于傳統機電系統的特殊性。
