有機集成芯片微電路和微機械焊接工業顯微鏡
發展微機電系統的途徑和技術條件的不同，才出現了上述不同
的定義形式。
那么該如何定義MEMS呢?我們認為定義MEMS應從尺寸和功能兩
個方面出發，而不應限定于任何制作工藝或材料，因為MEMS的工藝
技術是不斷發展和完善的，制作MEMS的材料也是多樣的。
因此我們認為微機電系統的定義和內涵是：采用微機械和微電
子加工方法，把微電路和微機械按功能要求有機集成在芯片上，關
鍵尺寸通常在亞微米至亞毫米范圍內，集微機械、微執行器以及信
號處理和控制、接口、通信和電源等于一體的可批量制作的自動化
和智能化的微系統。它的基本特征是微型化、多樣性和特有的微電
子技術。
隨著社會的進步和人們需求的日益增長，尤其是戰爭的需求，
許多方面都在期待著微機電系統的出現。迫使人們用新的觀點，綜
合應用不同學科中的先進技術，為需求目標服務。
微機電系統由于尺度小、集成度高、功能靈活而強大，使人類
的操作、加工能力延伸到微米級空間，也使其成為21世紀較富于挑
戰性的科學技術領域之一。這種技術跨越將深刻影響國防科學技術
和國民經濟的發展，它將使未來戰爭改變面貌。同時作為新興的高
技術產業，微機電系統已經成為各國政府競相爭奪的技術制高點。
