電子顯微鏡低倍觀察中圖像的中間部分清晰邊緣模糊
軸上色差(中心色差)
軸上色差是由于加速電壓或透鏡激勵電流改變,引起磁透鏡焦距變 化而產生的。當物點在軸上時,由于電子速度不同
放大色差 磁透鏡中,當物點不在軸上時,由于焦距的變化,而引起放大倍數 的不同,這種像差叫放大色差。一般表現為圖像中心部位清晰,邊緣處 模糊,這種現象在低倍率及觀察厚樣品時尤其明顯。放大色差是由于電 子束在穿過標本時,損失的能量不同,導致穿透樣品后的電子速度不同 而產生的。因而在觀察電鏡標本時,應盡可能采用薄樣品,一般不超過 80~100 nm。若觀察厚樣品則應采用高電壓。
旋轉色差 磁透鏡中,由于磁場的影響,象轉角隨高壓和透鏡電流的波動而波 動,引起旋轉色差。象的旋轉方向與磁場方向有關,故電鏡中物鏡及投 影鏡的磁場方向應該相反,便可適當地補償旋轉色差,若在觀察中發現 旋轉色差嚴重,應檢查物鏡電流方向是否正常。四、象散
電磁透鏡的象散(astigmatism)是由于透鏡中極靴的機械不對稱或 極靴材料導磁率不均勻而引起透鏡磁場不對稱所致,結果造成物點的像 產生兩條焦線,形成模糊像。按理論計算,極靴內孔精 度AR應為0.028μm,平面精度也要求達到相似值,目前還沒有適當的 方法可以達到這樣高的精度。為此,人們研制一套消象散裝置進 行校正,消象散裝置分機械和電磁式兩種。存電鏡觀察前必須對象散進 行校正,以滿足分辨本領的要求。 |