凝聚制備出顆粒樣品粒度分布計量圖像顯微鏡
蒸發一凝聚法制備納米粉料
氣相法制備納米粉體是利用氣體或通過各種手段將物質變成
氣態，使之發生物理變化或化學反應，通過急冷后凝聚，獲得納
米粉料的方法。蒸發一凝聚法是應用最廣泛、工藝最完善的氣相
法之一，等離子體蒸發一凝聚法可制備出高純度、粒度分布窄和
粒度可控的納米粉料
利用等離子體焰流的高溫，使陽極上部坩堝內的原料熔融、
蒸發，并且部分原料原子又變成離子態或激發態，蒸汽遇到周圍
的氣體被冷卻或發生化學反應，通過急冷使產物氣態分子凝聚并
抑制晶粒的長大，從而獲得納米粒子，納米粒子粘附于旋轉的冷
凝器上，經過收集、氣氛保護和處理，得到納米粉料。
在此過程中，通過調節反應氣體或保護氣體的壓力來控制原
料的蒸發量，從而控制納米粒子的純度和產量；通過調整冷凝器
內冷卻介質的溫度而產生不同的溫度梯度，從而控制納米粒子的
粒度。如制備TiN納米粒子時，冷卻介質為液氮、冰鹽水和室
溫水時，粒子的平均粒度分別為8rim、20nm和40rim。
由于等離子體焰流具有非常高的溫度(高達3×104K)，所
以可以制備大多數金屬納米粉料，特別是高熔點金屬及其化合
物；并且在焰流區存在大量高活性氣態基團，通人不同的工作氣
體，可制備氧化物、氮化物、碳化物及金屬一非金屬復合納米粉
料。
