測量不同種類的光路-光學儀器常識
對于任意結構的裝置．入射光必須垂直于參考面，以使參考光
在返回時，沿著相同的路徑通過干涉儀。測試光也是如此。
由于激光的相干長度很大，透鏡表面或者其他部件的任何反射
光將會造成偽條紋。在成像透鏡和發散透鏡的焦點處放置空間濾波
器．可以部分消除這些條紋。在系統中的其他光學表面上鍍制增透
膜，可以更進一步減少這些不需要的條紋。
斐索激光干涉儀
直到激光的出現，原先由短相干長度的光源帶來的干涉儀需匹
配其兩光路路徑長度的問題才得以真正解決。由于激光相干長度較
長，斐索激光干涉儀在雙臂之間可以有很大的路程差。使用一個如
泰曼一格林干涉儀中的分束器，透鏡或平板表面可經菲涅爾反射形
成參考光束。光程差是被測表面和參考面之間距離的
兩倍．可達到幾米。單模激光很容易滿足這個相干長度要求。
斐索激光干涉儀的較大優點在于參考光和測試光是共光路。另
外，它很容易改變系統以測量不同種類的光
為了檢測平板，用透射平板代替了發散透鏡，而干涉儀的重要部分
保持不變。參考波前來自于透射平板后表面的菲涅爾反射。
下面的裝置用于檢測凹面。參考波前來自于發散透鏡組較后表
面的菲涅爾反射。設計發散透鏡組是為了使光束垂直人射到參考面
上。這個干涉儀的靈活性是非常明顯的。
