樣本比較分析-裝配級失效的檢測顯微鏡
EOS失效分析——傅里葉變換紅外光譜儀
傅里葉變換紅外(FTIR)光譜是一種有損失效分析技術，可用于
評估有機污染。有機污染導致的EOS可以引起高電阻短路。在傅里
葉變換光譜中，采用測量技術收集發射光譜。發射光譜的收集是基
于對相干輻射源的測量。輻射源發射的收集就是采用電磁輻射或其
他類型輻射的時域或空間域測量。在這種技術中，傅里葉變換就是
將原始數據轉換成發射光譜。
FTIR光譜法用于在裝配級失效的檢測。較好對失效位置和未失
效位置或者失效樣品和未失效樣品行進對比分析。通過這種方式，
不應該存在的有機物質可以與原本就有的有機物質分離。這種方法
對辨別究竟是EOS、EOV、EOC或EOP在失效中的起作用是很有價值的
。
EOS失效分析——離子色譜法
離子交換色譜法是用來評估裝配級和電路板級失效是否與污染
物或基于離子間的失效有關，也被稱為離子色譜法(IC)[6I。離子
交換色譜是一個根據離子和極性分子的電荷來讓它們分離的過程。
該方法用于確定該失效是否是高電阻短路機制導致的表面傳導相關
的失效。離子污染會導致出現電氣失效特征，這通常被認為與EOS
有關；這是一個排除EOS事件電阻短路的好方法。這種方法通常不
會用來進行器件或ESD分析。
評估電氣失效，重要的是要有一個可控樣本進行比較分析。這
樣，“好”樣品的離子水平可以與“失效”樣品進行比較�？梢栽�
可能出現電氣特征的局部區域或整個表面(比如，整體污染)對印制
電路板的失效特征進行評估。如果發現“壞”標本是全局污染并且
檢測到電阻，就可以排除這不會是EOS事件。如果失效是局部的并
且評估顯示有絲狀物形成、尖峰、電介質破裂和離子污染，那么有
可能是過電流、過電壓或過電應力造成的。
