設計精密微機械電子技術-用于微零件的軟件應用
·能夠提供高效的用于微零件的軟件開發工具；在計算機上完
成結構的開發、模擬和優化，避免不必要的過程；
·將計算機上設計的結構通過光刻法傳送到基底上，充分利用
組裝密度高的優勢，減小結構的尺寸；
·通過對生產過程的精確監控，大大縮小批量制造的誤差范圍
；
·研發幾種設計精密的基本結構，這些結構應具備組裝密度高
、結構微小的優點，以便在相同的基底上可以有效地擴展，并且通
過米用合適的連接技術司以集成為一個智能化系統，這種方法將導
致傳感器和執行元件設計思想的根本變化，進而會影響到精密工程
和機械工程的發展。
盡管微結構技術與微電子技術的生產過程緊密相關，但是仍需
要研究將微結構發展到三維的方法
硅材料微機械技術，在任何一方面都依賴于微電子技術。二者
不僅具備相似的制造過程，而且單晶硅同時也是微結構的基本材料
。，通過各向異性的蝕刻過程得到三維結構，在該過程中可以將單
晶硅乎整為要求的形狀，利用特殊的蝕刻方法，對應晶體的結構，
從單晶硅上各向異性地去除材料。
利用硅氧化物或硅氮化物掩模，對部分硅表面進行蝕刻，不同
的晶體表面以不同的速度蝕刻。晶體中可以加入人工層作為附加的
蝕刻阻塞層。利用合適的掩模、蝕刻阻塞層，采用各向同性和各向
異性的蝕刻方法，可以將硅片制成三維結構，從而形成傳感器或其
他任何元件的基本組成結構。硅材料微機械技術的獨特優勢在于，
可以在同一基底上安裝微結構體(比如傳感器結構)和適當的計算電
路。
