零件尺寸三維形狀測量光學技術-輪廓測量儀器
尺寸形狀檢測
零件尺寸形狀精度是衡量機床加工質量的另一主要指標。與表
面粗糙度的檢測一樣，尺寸形狀的測量方式也主要分為接觸式和非
接觸式，前者又分為電氣式和機械式，后者又分為激光式和超聲波
式。接觸式測量主要用于加工零件的離線測量，而非接觸式測量可
適應于加工工件的在線測量。
在零件尺寸形狀測量中，尺寸的測量主要包括車削和磨削回轉
體直徑以及鏜削和鉆削孔徑的測量，其測量方法主要有直徑法、半
徑法和多點法等。
在零件尺寸形狀測量中使用較多的還是光學式非接觸測量法。
除了利用光學變位(激光位移計、光切斷等)和光學現象(反射光強
度、折射等)兩種與表面粗糙度測量相似的方法外，零件尺寸形狀
的光學式測量中常用的方法還有光焦點法和光跟蹤法等。
光學式非接觸傳感器除了在零件尺寸的在線測量上顯現出其優
越性外，在零件三維形狀的在線測量上更具有其他傳感器所不及的
特長。
在三維形狀測量中除了利用激光法外，通常還采用晶格點陣投
影法。當基準晶格點陣投影到三維物體上并從其他方向觀察時，可
發現原先的基準晶格點陣隨物體表面的三維形狀而發生變形，根據
晶格點陣變位量的檢測來計算物體的三維形狀的方法，稱為晶格點
陣投影法。
零件尺寸形狀的非接觸測量除了上述的光學式測量法外，另一
有效的方法為超聲波法
