聚合物含碳元素的化合物加工檢測顯微鏡
聚合物是含碳元素的有機化合物，它的分子鍵很長，并構成了分子
網絡。聚合材料中的典型產品有環氧樹脂、聚酯、尼龍和硅酮等。
聚合物得益于它的原子結構，其強度和延展性極佳，但大多數聚合
物的電導率很低，有些是很好的絕緣體。一般而言，聚合物的密度
較低，而且軟化和分解溫度也比較低。
由于聚合物要么是長形蛇狀結構，否則就是三維隨機網狀結構
，所以一般它們都是非晶體。但是還是能夠發現一些單晶態的聚合
物。只有在線型聚合物中才能存在單晶性質的聚合物，而且也只能
是局部的。開發單晶態的聚合物有很大的意義，因為單晶態的力學
、熱學和光學性能有很大的應用價值。聚合物中的單晶體是因化學
反應而生成長鏈分子，類似于幾千個碳原子結合成的鏈條時形成的
，在液態的冷卻過程中，這些分子向前和向后擴展，形成獨有的晶
體。
用于MEMS的較后一大類材料是復合材料，它是指應用上述四大
類材料中的兩種或
兩種以上組合而成的材料，為了獲得所希望的材料特性，許多復合
材料中包含了合適的填充料或強化材料，也包含了可配伍的樹脂黏
結劑。一般來說，組成復合體的成分，它們之間是互不相溶的，而
且這些組成材料問的界面是物理上可鑒別的。
陶瓷、聚合物和復合材料的重要性之一是，它們在微傳感器和
MEMS器材中既可用作惰性材料，也可用作活性材料。在惰性材料方
面，如制成與上層結構沒有互作用的惰性襯底，又如在微機械結構
中制成惰性構件，如活動閘門等。作為活性功能材料時，往往又稱
為智能材料，如具有電活性的聚合吡咯(Polypyrrole)，它可以制
成化學敏傳感器，是電子鼻中的重要部件。
