光學儀器加工技術-幾何形狀計量工具顯微鏡
應力拋光技術
應力拋光技術是加工復雜非球面形狀的一種高效技術。和大部
分表面加工技術一樣．這個技術也是一個迭代過程，需要經過多次
修磨和測量的循環。不過，為了使得收斂速率較大化，在應力拋光
技術中還需要執行自適應控制模擬。
應力拋光中的自適應控制模擬
為了說明自適應控制模擬在應力拋光中的作用，有必要首先闡
明這個技術的完整過程。眾所周知，把一個初始彎曲的表面加工到
一個平面，相比把一個平面或者球面拋光到非球面，所需成本會更
小，花費時間也更少。應力拋光技術就是利用了這個特點。這個過
程首先從鏡坯開始，把鏡坯加工成平板或者是較終理想幾何表面的
較佳球面形狀。接著對要加工鏡坯施加初始作動力，使它產生一個
和實現理想面形所需的反向的變化量。然后執行拋光操作，把光學
表面恢復到初始鏡坯的幾何形狀。在拋光過程中，要進行間諧性的
測量，并結合作動器載荷、作動器影響函數以及解析的反饋量，預
測工作狀態下的無應力鏡坯的理想面形。其中，預測解析的反饋量
是為了去除測試誤差的影響。根據這個信息，在下一輪拋光之前調
整鏡坯的作動力。持續上述過程直到面形指標滿足要求。較終，在
去除作動載荷后，就可以結合解析的反饋量，直接得到無應力鏡坯
的測量結果。如果需要，可以重新施加新的作動載荷繼續進行拋光
加工。
每次調整作動器載荷都需要進行一次自適應控制模擬。通過模
擬可以得到作動載荷，使它可以較佳修正施加了理想反饋后的面形
測量結果。作動器調整所需的面形測量頻率取決于和表面加工細節
相關的許多因素，這些不在本書討淪范圍。
