氧化形貌樣品檢測可用低倍顯微鏡觀察記錄氧化膜表面

樣品的檢測方法

　　根據需求，氧化形貌可用多種方法進行觀察，多數情況下推薦下面
的流程，首先，用肉眼和低倍顯微鏡觀察樣品，記錄氧化膜表面是
否平整、起皺、生成瘤狀物或開裂，在中心或邊緣位置是否有加速腐蝕
現象。

這個步驟相當重要，因為隨后的觀察一般僅限于局部區域特定位
置的顯微觀察，所以需要知道其是否有代表性，樣品表面不同區域是否
有差異。再就是樣品制備截面前需要用掃描電鏡對其表面進行觀察，如
果發現某一區域有重要的特征，必須立刻拍照，否則會錯失良機。另外

   現代掃描電鏡還可確定所觀察到的指定形貌特征選區的化學成分，將
在下面進行介紹。
　　

　　觀察氧化膜表面形貌后，一般還要對其進行x射線衍射分析，以確
定其相組成，同時還可獲得膜中的應力狀態、織構等附加信息。

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