微電子封裝應用中-微連接技術電子顯微鏡
如果分子納米線主要是較短的結構,其長度很少達到微米尺度
,而CNT的長度甚至可以達到毫米尺度,所以CNT同樣適用于微電子
封裝℃NT已經用于邏輯電路晶體管器件、場發射結構和貫通孔等結
構之中。
納米線和納米管可用硅、GaN等半導體材料制造。由于這些材
料與微電子器件的制造材料相近,納米線和納米管在未來復雜的微
電子應用中將顯得更為重要。近來,人們研究了納米線和納米管的
合成技術,把它們整合到傳統的平面技術(例如通過超晶格納米線
造型轉化),以及這種整合的應用前景。
除這些材料之外,其他納米線都是由各種氧化物及多元素氧化
物成,如Zn0。當這類納米線吸收分析物時,其電導率會發生變化
,而且這種變化能夠準確地測量,因此這種納米線對傳感器等應用
更為重要。
在菌苔狀金亞微米線的制備、表征和應用等領域的研究成果,
以分享納米封裝研究的激動。它可用于連接通常毫無關聯的技術領
域,如低溫連接、電子器件與生物細胞的接口技術。納米線和封裝
研究
在過去的數十年中,當代微電子應用中的可靠性問題已經顯著
地拓寬了封裝領域的研究范圍。為了保證現代微電子技術的持續發
展,封裝領域的研究范圍已經覆蓋了光電子學、光波導和光纖合成
、(生物)微流體技術、連接技術、熱管理技術、導線鍵合技術、
晶圓鍵合技術、倒裝芯片鍵合技術i焊接和封裝技術、箔電池和能
量捕獲技術、固體的數學建模技術和模擬技術等領域。這些領域在
此文回顧的許多出版文獻和年度報告中已經提及。
金屬納米線對幾乎每個領域的封裝,都有重要意義,因為與中
尺度材料和體材料相比,它有很多獨特的性質。人們已經設想把金
屬納米線作為接口,來實現未來的微電子應用向3D納米結構一體化
的發展