接觸式孔徑測量儀的優點-光學測量儀器原理
誤差分析
接觸式孔徑干涉儀較前面介紹的儀器有兩個優點：一是量塊不用
組合戲標準內尺寸框，而是將孔徑直接與兩個外尺寸比較，這樣就
減少了組合成內尺寸時的誤差因素。二是由于不使用標準尺寸框比
較，因而也就避免了測量時找標準框的較小尺寸及由此而產生的測
量誤差。同時儀器在設計時，已從結構上就保證了標準量塊的中心
長度尺寸與測量方向平行。從而提高了測量精度。
用接觸式干涉儀測量孔徑，由于沒有阿貝誤差，故可忽略導軌
運動精度的影響。其主要誤差包括：①讀數系統的誤差；②測球檢
定誤差；③測球定位誤差；④溫度的影響；⑤測力帶來的誤差等。
讀數系統的誤差包括定度誤差和測量時的估讀誤差。前面已經
提到，儀器是利用鼓輪推動光楔改變光程長度來讀數的，而讀數鼓
輪是由波長來定度的。其具體方法是在光路中插人一塊波長值已精
確檢定過的濾光片，產生單色光干涉。
非接觸式孔徑干涉儀的測量部件由接觸式干涉比較儀的干涉計
管改裝而成。將干涉計管的參考鏡換成本裝置中的帶棱鏡的測量頭
，將干涉計管中帶測頭的測量反射鏡改裝成可變更其到分光鏡距離
的參考反射鏡即可。本裝置測量時，測量頭不動，而是由工作臺帶
動工件運動，以便工件進入測量位置。光源用汞燈源，以便形成單
色光干涉。用它來對干涉儀進行定度，同時由于單色光干涉時的光
程差變化范圍大，易于看見干涉條紋，調整方便。
