準直光管式孔徑比較儀測孔測量誤差原因
用接觸式干涉儀測軸時，測量誤差的組成與用立式光學計測軸相似
，即包括：①光管帶來的誤差；②標準量塊的誤差；③工作臺臺面
對測帽平面不平行的誤差；④溫度的影響；⑤測量力的影響；⑥工
件重量與標準量塊重量差引起工作臺變形帶來的誤差等。其中，②
③④⑤項的考慮方法與用立式光學計測軸時相同。第⑥項考慮到干
涉測軸精度較高，為了不致因工件重量帶來的測量誤差影響測量精
度，必須控制被測工件的尺寸。對于干涉測量，建議被測工件直徑
小于40mm，根據檢定規程推算，這時帶來的工作臺變形，對鋼制工
件而言約為0．2微米。當然如果采用標準軸比較，此項誤差可忽略
用準直光管式孔徑比較儀測孔，其誤差由以下幾部分組成：
(1)讀數系統的誤差。它包括測頭部分帶來的誤差和準直光管
帶來的誤差。而測頭誤差又包括測頭本身的檢定誤差，將線值轉換
成角值帶來的誤差及其穩定性誤差。
(2)標準量塊的誤差。
(3)標準量塊組成的標準框和孔的定位誤差。對標準框來說，
其標準尺寸應該是在水平面和垂直面內的較小尺寸。而對被測孔，
要測的尺寸應該是在水平面內的較大尺寸和垂直面內的較小尺寸。
無論是標準框或被測孔，這個尺寸都不可能定位很準確。對于可以
找轉折點的儀器而言，其定位精度決定于讀數的靈敏程度。對本儀
器來說，由于它在孔的垂直截面內不能找轉折點，因此在這個方向
上的定位誤差就決定于孔的端面對孔軸線的垂直度誤差。
(4)溫度的影響。其作用因素與測軸的情況相同。
(5)測力帶來的誤差。在孔測量中，所使用的測帽都是球
測帽，故由測力引起的變形，對標準框和孔相差不多，而且本
儀器的測力小(不大于0．28N)，此項影響可忽略。
用此儀器測孔，其總誤差隨著所用標準量塊的等級及工
件定位誤差的不同而不同。根據有關資料，在不考慮上述兩
個因素的情況下，其測量精度可達±0．25微米。
