表面輪廓儀的應用-不同材料的電、磁和機械特征
表面輪廓儀、多波長及白光干涉測量
特定的環境下從具體的樣
本中提取細節信息。很困難的；像測量橫向和縱向移動及變形表面
，外，減少測量時間也往往是要優先考慮的。例如檢測表面不規則
的MEMS器件通常是都要通過一塊保護樣本的玻璃來完成。此接觸式
方法已經發展出了長、窄和更小曲率半徑的針尖，以及更小施力和
新的移動方式，這樣可以對更大范圍的樣品實現高精度且無損的測
量。原子力顯微鏡或者掃描探針顯微鏡探針間的相互作用技術提供
了越來越多的不同材料的電、磁和機械特性的信息。然而，由于這
些技術均是點對點的掃描技術，因此減少測量時間常常很關鍵。
在大范圍高度測量中，光學方法不斷地提高其垂直分辨率。近
年來，發展了許多測量更復雜樣品的技術，那些樣品由不同的材料
或透明涂層構成。已經開發出了很多算法來獲取膜層的厚度和輪廓
測量信息，以及由于不同材料反射光的相位變化產生的修正信息。
此外，為了檢測大型物體的形貌，新型的對振動不敏感的光學方法
正在被開發起來，用于檢測大型物體的形貌。
我們預計目前新技術開發的趨勢是繼續提高縱向和橫向范圍及
分辨率。此外，為了增大應用空間，檢測方法和系統都將繼續改進
。例如，可預見的新應用包括：測量浸入液體中的樣品的測量方法
；對含有難以達到的區域(如毫米尺度的小孔)的樣本，如毫米尺度
的小孔；現場監測和測量。相關這些技術都在不斷地發展。較后
，對于生物標本的測量，我們可能會常常用到光學相干斷層掃描和
共焦顯微鏡技術。
光學三角測量
三角測量傳感器探測由一束狹窄激光束照在物體上形成的背景
散射光反射光用一個位置敏感器件來探測。從傳感器上光斑位置的
改變可以確定物體距離的變化。激光掃描和狹縫掃描都基于光學三
角測量。光學三角測量的原理可以用于接觸式輪廓儀中，如探針輪
廓儀及用于探測掃描探針位置的原子力顯微鏡。
這類系統以光的傳播作為測量工具，因為光速是一個已確定的
基本常數。通過計算光傳輸到物體并返回所用的時間來測量距離。
渡越時間法更適合測量長距離，這種方法用來測量地球到月球的距
離。加上一個掃描系統后，還可以獲得航空地貌。
