熒光顯微鏡在觀察檢測使用過程中較好帶上防護罩
通過玻璃板或流體介質的測量
一些工程對象,如MEMS系統,通常用防護玻璃罩進行保護,在環境艙中一些設備需要在不同的壓強及溫度下進行檢測。這些對象的檢測需要經過玻璃防護罩進行。生物樣本通常是泡在液體中的,
對其測量則需要通過液體。因為液體層或玻璃保護罩的色散,白光條紋可能會全部消失。
因此,需要在干涉儀的參考臂上引人一個補償板。這種補償方式對于邁克耳遜型的物鏡是較容易實現的。此外,對于那些用在照明和成像光學系統中的數值孔徑更高的物鏡,條紋的對比度減小得更快。針對這些更高數值孔徑的物鏡引人補償也很難。對于這種具
有高的數值孔徑物鏡的系統,為了增加針對具有高數值孔徑物鏡系統的條紋對比度,降低照明的數值孔徑可以通過直接將一束數值孔徑很低的近準直照明光束入射到物鏡下方的干涉儀中而不經過物鏡來實現,
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