輪廓儀表面的粗糙度測量儀器-光學車間檢測技術
探針輪廓儀通常都用已知的高度和粗糙度標準進行校準；這些
標準可以從VSLI標準組織或者德國阿B購買。較常用的標準是熔融
玻璃上制作的鉻臺階或者是蝕刻在硅片上臺階。輪廓儀對臺階進行
周期性的測量，以保證校準和比例因子能夠計算得出，提供輪廓數
據。
有些探針輪廓儀在整個高度測量范圍內不是線性的，用一個
在高度上與測試樣品接近的臺階來光學車間檢測對探針輪廓儀進行
校準是很重要的步驟。當需要確定一個表面的粗糙度時，較好使用
一個粗糙度標準件而不是臺階高度標準件對儀器進行校準，因為需
要同時考慮橫向分辨力和表面高度起伏。標準有很多不同的類型。
較常見的是給定了幅度，但具有不同空間波長的正弦波標準。粗糙
度標準也使用了方波光柵形狀。由于探針不可能不會完全深入波谷
或者在測量波峰時會跑偏，所以正弦波標準件能夠在單一的空間頻
率上對儀器性能作更精確的評價。
由于探針輪廓儀具有大的橫向和縱向掃描范圍，所以其在普通
計量和半導體工業中有廣泛的應用。當被測表面長度超過200μm時
，也常會用到探針輪廓儀。這種情況下，獲得表面輪廓的典型方法
是先進行單向掃描，然后把掃描的結果拼接在一起。在低壓力下進
行多次掃描能夠減少損壞樣品的可能性。其他典型的應用包括劃痕
實驗法測量保護層的厚度和硬度、晶片平整度、晶片蝕刻深度、測
試晶片上薄膜的應力、RGB顏色濾波器在平板顯示器上的應力、芯
片的凸點及監控MEMS的濕法蝕刻過程等。有些輪廓儀是專門為測量
非球面和它們的粗糙度設計的。這些系統能夠測量寬12mm，高38mm
，口徑超過200mm的非球面。較近斯科特還在使用探針輪廓儀對非
球面進行測量方面取得了一些進展
對于表面測量技術的概述，包括探針輪廓儀、表面特征和所使
用的光學方法的評述可以在很多參考文獻中找到。掃描探針顯微鏡
掃描探針顯微鏡(scanning probe microscopes，SPM)通過移
動非�？拷郎y表面的細小探針，可以達到原子量級的分辨力。
