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氧化鋁是常用的集成電路基片材料-電路檢測顯微鏡




來源:yiyi
時間:2016-7-26 17:09:40

氧化鋁是常用的集成電路基片材料-電路檢測顯微鏡

  氧化鋁是常用的集成電路基片材料。具有良好的電絕緣性、化學耐
久性、耐熱性及耐熱震性,表面均勻平整,成本低。但是,氧化鋁瓷的
導熱性差,與半導體硅芯片的熱匹配較差。

  氧化鋁白寶石單晶導熱率高,與硅的熱膨脹系數相近,對硅單晶的
污染少,可用作基片外延出硅單晶薄膜,用于大規模集成電路。

  氮化鋁的共價鍵強,平均原子量小,導熱率高,電絕緣性好,熱膨
脹系數小,熱震性能好,用作集成電路基片。

  具有金剛石結構的金剛石、立方氮化硼,因其晶體結構簡單,原子
量小,鍵力強,非諧振性小,都具有高熱導率。金剛石、立方氮化硼都
是電絕緣體。但因成本高,難用于絕緣。近年,金剛石、立方氮化硼薄
膜的研究成功,開辟了用作大規模集成電路基片的前景。功能玻璃材料

  從17世紀伽利略用玻璃制作第一臺望遠鏡,直到20世紀初,光學玻
璃和玻璃光學儀器才得以迅速發展。20世紀又逐漸發現了玻璃的聲光、
磁光和激光效應,發現了特殊的半導體玻璃、離子導體玻璃和金屬玻璃
等新型技術玻璃品種。70年代玻璃光纖被應用于光通信,玻璃材料成為
重要的光電子技術功能材料,在當代高技術中得到廣泛的應用。

  均勻而又透明的玻璃,早就被人們用作光學材料。目前,光學玻璃
已廣泛地被用于制作成各種光學元件,這些光學元件是現代高技術中得
到廣泛應用

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