熱噴涂涂層的微觀結構特征電鏡技術-微觀晶粒形貌研究
微觀結構的表征方法
熱噴涂涂層的微觀結構有很多特有的特征，這也是為什么選擇一種
合理的結構表征方法是很難的原因。另一方面，為使涂層達到要求性能
，涂層的結構表征是選擇工藝參數時一個非常有效，也是很必要的步驟
。涂層全部結構包含如下信息：
·在宏觀尺度上和微觀尺度上的化學成分；
·晶粒形貌及生長方向(結構)；
·缺陷，比如孔隙或者第二相，也包括很少涉及的微觀缺陷，比如
層錯或者位錯的含量及它們的分布；
·不同厚度處上述結構特點的分布。
“微觀結構”一詞并不是對應著所檢測涂層結構的尺寸，目前，微
觀結構的尺寸從幾個納米e到幾個毫米，微觀結構用初級束流粒子或者
電磁波激發試樣進行分析。能束的大小及電磁波的波長必須要小于被檢
測結構的尺寸。下列粒子可被用于檢測熱噴涂試樣的結構：
·掃描電鏡(SEM)的電子束，電子探針分析(EMPA)，電子能譜分析(
EDS)，透射電子束(TEM)，選區衍射(SAD)及波長分散譜(WDS)；
·用于中子衍射的中子束。
下列電磁波可用于激發材料表面并進行檢測：
·紅外光譜儀(IRS)的紅外輻射；
·光學顯微鏡(OM)和拉曼光譜(Rs)的可見光；
·X一衍射儀(XRD)和x射線光電能譜中的x一射線。
此外，類似于隧道掃描電鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)的技術是采
用電場激發的技術。試樣在原始射束的激發下將放出下列粒子：
·粒子與激發束流粒子類似的，通過：
反彈；散射；從原子內殼激發出粒子。
·電磁波，比如紅外光，可見光或者x．射線。
釋放的粒子或者波帶有試樣本身的信息，這種信息需要通過合適的
光譜儀分析。有大量不同的技術已經用于薄膜和涂層的表征上，新的技
術(或者原有技術的改進)仍然在不斷發展中，它們可以粗分為以下幾類
：
·化學成分分析；
·衍射；
·微觀結構分析。
