表面輪廓儀測量的位移量小但準確度高-輪廓儀廠商
表面輪廓儀測量的位移量很小，準確度很高，通常工作臺
是防震的，即使是便攜式輪廓儀，也一定要在無震條件下測量．
試樣制備
試樣制備質量對測量準確度影響很大，并影響儀器速度的
設定。
在覆層厚度測量中，制備臺階要求基體和臺階頂部不受損傷
和腐蝕，而臺階底部應無任何覆層痕跡。通�？刹捎没瘜W溶解和
陽極溶解法來溶解要去掉部分的覆層，選用的溶解液應對基體不
發生腐蝕。
采用溶解法制備臺階，建議在1平方里面的正方形內除掉四個小
徊面積內覆層。溶解覆層時，可在要溶解面積外的全部覆層加以
屏蔽，只溶解要溶解的覆層而形成小圓坑．
臺階也可通過在鍍覆前遮蔽一部分，遮蔽部分的直徑通常是
約l一2mm，這樣在鍍覆過程中就會由于遮蔽部分鍍覆不上而形
成臺階．
按照上述方法制備的試樣，通過輪廓儀記錄出兩小圓坑間的
輪廓曲線，取兩圓坑臺階的中點，也就是曲線高度的中點，根據
中點可以繪出曲線的中點曲線．然后對另兩個小圓坑之間的輪廓
r抽線也繪中點曲線．較后可將兩輪廓曲線之一的上邊緣和另一嗌
錢下邊緣疊置，取兩中線之間的高度作為覆層的厚度．
表面粗糙度(輪廓)儀是非常精密的測量儀器，對其校正和測量都應小．
心細致地進行．通常表面輪廓儀的校正可利用光干涉儀，也可以
直接利用已知厚度的標準塊來進行：表面輪廓儀測量的覆層厚度
極薄，任何影響因素都可能帶來較大的測量誤差。因而，在測量
過程中，對于溫度的變化、測量臺有無震動、試件基體的平滑租
平直度、試件表面清潔度、臺階制備的完善性、儀器放大倍數的
穩定性和設置、觸針的壓力、觸針針尖大小和粗糙度之間的選，
配、觸針有無磨損等都應充分加以注意，以便能得到準確的測量
結果．
