輪廓儀覆層厚度測量-輪廓儀又稱表面粗糙度儀
輪廓儀覆層厚度測量
輪廓儀又稱表面粗糙度儀，常用于測量加工表面的粗糙度或
不平度。對于表面有覆層的制品，如果從被測表面到和基體的界
面制備一個小溝槽或臺階，則可以測量覆層厚度。通常輪廓儀測
量厚度的范圍為0．01一1000μm，當厚度小于0．01μm時，則對工
件表面平直度和平滑度要求很高，厚度的測量較為困難。輪廓儀
祛雖然屬于破壞測量，但由于測量直觀，測量厚度的下限很薄，
捌量誤差較小，因而它也被用來作為仲裁測量和供其他儀器校準
之用。
基本原理
輪廓儀通常是電子觸針式儀器，根據其所用傳感器不同，一
搬可分為電感式、壓電式、感應式、光電式等．電感式由于具有
：準確度高、信噪比高等特點，因而它的應用較為普遍。
輪廓儀是用觸針在被測表面移動，在移動過程中，觸針隨表
面不平度而上下移動，從而感應產生一比例子上下移動距離的信
號，將此信號放大，則可以記錄出每點高度i。由于觸針隨著驅動
箱電動機的帶動而在一定長度下移動，因而它可記錄出移動范圍
：內的表面輪廓。當測量覆層時，由于試樣制備了溝槽，因而它可
以測量出各點的覆層厚度．
利用輪廓儀測量覆層厚度時，對于觸針尖端半徑的要求不象
測量粗糙度的要求高，可以選用5微米或更大一些的觸針．金剛石
觸針可以承受一定的沖擊力而不會損壞，因而使用壽命較長。
利用輪廓儀測量覆層厚度時，需要將被測件表面先制備一個
小臺階，當測針從臺階底，即從基體表面的位置開始移動，待測
針，移到臺階邊緣就會跳至覆層表面，因而儀器將記錄出基體表面
和覆層表面的高度差，也就是記錄出覆層厚度。
輪廓儀測量覆層的基體表面必須非常光滑平整，否則難以保
證測量的準確度。
