光切顯微鏡測量或光學截面表面粗糙度測量儀
對于不透明覆層厚度則應采吊有損測量。在這兩種測量
方法中，由于儀器的原因或使用不當，都可能影響測量結果的準
確度．對于有損測量，若試樣制備的質量不佳，則乏對測量結果
產生影響。下面就有關影響因素加以敘述。
(1)表面粗糙度光學法測量覆層厚度一般都非常薄，因
而要求基體表面的加工粗糙度很低，一定要非常平滑。如果覆層和
基體表面粗糙，或者覆層和基體表面相對于覆層厚度是粗糙的，
9lb在觀察視場內，將由于覆層和基體的界面不規則，而不可能進
行準確的測量。
(2)斷面不正 當拋磨試樣斷面或加工臺階斷面不垂直，
在測量厚度時，可能會產生誤差。在斷面顯微鏡測量中，一般每
傾斜10°由此導致的誤差達1．5％。
(3)覆層變形 在斷面顯微鏡和掃描電子顯微鏡測量中，
如對試樣的鑲嵌溫度過高或壓力過大，都有可能造成試樣的覆層
變形；對軟覆層或低溫易熔化覆層進行斷面拋磨，以及對脆性材
料過分砂磨，都可能造成覆罷變形，將會帶來測量誤差。
(4)覆層邊緣磨圓 覆層斷面邊緣如被磨圓，則不成平
面，這樣在顯微鏡觀察就很難測出真實厚度。在試樣鑲嵌、研
磨、拋光、浸蝕等操作中，如操作不適當都有可能導致邊緣被磨
圓．通常，在拋磨試樣上加一層保護層，則可以防止邊緣磨圓．
(5)浸蝕：當浸蝕試樣條件較佳，將會在兩種金屬界面形
成清晰的狹窄邊界線。如果條件不佳，則邊界線寬，也不清晰，
因而不可能準確地測量。
(6)表面沾污 當拋光試樣斷面留有沾污的金屬，特別是
在鉛、銦、金等軟金屬界面情況下容易發生，以致界面不易準確
地測量。對此，一般采取多次拋光和多次測量的方法。
(7)對比度差當兩種金屬原子序數十分相近，如光亮鎳
和半光亮鎳，在掃描電子顯微鏡測量時，它們可見對比度差，除
非浸蝕邊界很清晰，以及采用適當的測試方法，否則是難以識
別的．
