覆層厚度測量試樣磨制金相制樣分析光學顯微鏡
試樣磨制
鑲嵌好的試樣磨光和拋光，少量的可用手磨光的拋光機進
行，大批量的可用自動機進行。
試樣拋磨方法通常是采用逐次變細的磨料，較后可用600粒
磨料或者更細的磨料，對固定的試樣進行研磨．在研磨過程中，
研磨表面應垂直子覆層表面，為此可在研磨前，在平行研磨表面
韻外側劃一記號，通過簡單的測量，可以發現研磨中是否發生傾
斜，以及發生多大的傾斜。研磨應施加合適的壓力，而研磨方向
可和覆層表面成45°，每當磨料向較細變換一次，研磨方向與前
次方向改變90°進行。研磨中應注意發現有無異常現象，以便隨
對加以排除
覆層和基體材料間界線不明顯時，為了便于觀測，則往往需
要先將磨好的試樣(磨片)進行化學腐蝕，如測量鋁上氧化膜之
類的，界限較為明顯，則可不進行腐蝕，通常視其具體情況而
定．為了界線的浸蝕清晰，選用合適的浸蝕劑是必要的，
列出了測量鍍層厚度所常用的浸蝕劑。試樣通過浸蝕可消除硬金
屬在軟金屬上的劃痕。對于不明顯的界線或呈現覆層厚度的不規．
律性變化，應通過補充拋光和浸蝕達到呈現清晰的界面．
測量
對于厚的覆層厚度測量，放大倍數應該使視場直徑是膜厚的
1．5一3倍，這不包括保護層。對于薄的覆層厚度測量，同樣放大
倍數滿足不了視場直徑與膜厚的上述關系，還應盡可能適當地選
擇較大的放大倍數。
測量可采取目鏡觀測，也可投影到毛玻璃上，還可拍攝，或
者是用校正的刻度尺測量，總之可根據具體情況和要求進行。
測量儀器一般采用螺絲游動測微計和目鏡測微計，后者準確，
度較差．測量試樣的覆層厚度時，磨片表面與光軸應盡可能準確
垂直。利用的視場直徑一般不大于其本身的2／3，光欄孔徑不大
于物鏡孔徑的2／3。
測量前和測量后應對儀器進行標定，標定和測量應由同一操
作者完成。目鏡測微計重復標定誤差應小于1％，載物臺測微計
的兩條線的間距應在0．2微米或0．1％以內。目鏡測微計移動的回
程間隙也會引起誤差，通常在對位過程中，將測微計十字線交叉
的一邊調到與待鋇4覆層的一邊相重合，然后再與另一邊相重合，
并且每次測量都以同一方向旋動對準，從而消除回程間隙所引起
的誤差。
測量一般對每個測點至少應測3次，對于嚴格要求的仲裁
性測量，則應在每一個測量點上測量10次．
