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覆層制品厚度斷面測量多功能工具光學顯微鏡




來源:yiyi
時間:2016-5-7 1:52:08

覆層制品厚度斷面測量多功能工具光學顯微鏡

覆層厚度的測量,可根據測量對象結合各種方法的特點和所
適用的范圍,來選擇適宜的方法和儀器.
    測量覆層厚度,較重要的是指測量覆層工作面的覆層厚度,
如軸套內表面的覆層厚度、某些形狀復雜或曲率半徑很小的覆層
制:鋁的覆層厚度。在合適方法選定的基礎上,對于儀器的選用,
還得考慮有合適的測頭,以滿足具體測量的需要.
    有些覆層制品其覆層厚度是非常均勻的,如鍍錫薄鋼板,一
般可采用稱重法進行平均值測量。但更多的覆層制品其覆層厚度
往往不是很均勻的,因此必須測量出較小覆層厚度,以達到所規
定的技術要求.在這種情況下,測頭要小到能逐點測量,從而可
測出整個覆層制品的覆層厚度分布情況。這對于大多數無損測量
方法是易于實現的。

在覆層制品生產單位和用戶之間,往往要進行抽樣和選點測
量,以保證覆層制品技術要求的較小覆層厚度,通常將這種測量
。稱為仲裁測量。這種測量一般具有直觀、可靠、準確度高等特
點,過去都把斷面顯微鏡測量作為仲裁測量。但是,顯微鏡測攝
厚度大約在8微米以內,其準確度較低,難以達到技術要求,并需
要有專門訓練的技術人員。隨著電子技術的進步,陽極溶孵庫侖
測厚儀的應用日益普遍,用這種方法可測量10微米以下的覆層厚
度,測量重現性較好,準確度較高,誤差可小于±5%,因而陽
極溶解庫侖法覆層厚度測量可作為幾個微米范圍內覆層厚度的仲
裁測量。
    輪廓儀在測量為l微米以下的覆層厚度時,具有很高的準確
度,但高級的輪廓儀價格較為昂貴,在有條件的地方,可以采用
.輪廓儀作為特薄覆層厚度的仲裁測量。

用絕對誤差表示測量準確度;但若被測覆層厚度相差很大,則
更能反映測量準確度。通常,用覆層測厚儀測量薄覆層厚度時,
一般絕對誤差較小,而相對誤差很大,但用覆層測厚儀測量厚覆
層厚度時,絕對誤差較大,而相列‘誤差較小。在各種覆層厚度測
量方法標準中規定了覆層厚度測量的相對誤差和絕對誤差,即薄
覆層不超過規定的絕對誤差,而厚覆層不超過規定的相對誤差。
有的儀器規定其誤差為相對誤差加絕對誤差,儀器在測量薄覆層
時不應超過規定的絕對誤差。

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