鍍覆有覆層測厚儀的分度和檢驗-樣品檢測顯微鏡
測厚儀的分度和檢驗
分度和檢驗方法
每種覆層厚度測量儀器都有一定的準確度要求，根據儀器量
程或分檔量程對其進行分度，各檔分度測試點的多少，應根據情
況適當選擇，對于每一分度點的測試，應重復測量一定的次數，
以保證儀器給定的準確度．
儀器使用一段時間后，為了保證其質量，還必須對它進行檢
驗，檢查是否符合質量指標。檢驗和分度的任務不一樣，但它們
都應符合儀器的技術要求．
量程分度可以按分度點分成幾段，分度點的數量可以是任意
的，各點之間的距離也可以是等距的，但任意取點或等距取點會
導致誤差的顯著增大，因此還應考慮基本誤差和數據離散的隨機
誤差，以便確定分度點的數量。
在分度測量完畢后，還必須計算偏差系數，若小于期望的偏
差系數，則表明測量次數已經滿足，否則應增加測量次數。如果
偏差系數不隨測量次數的增加而減小，則說明在選定的方法、測
頭結構、頻率、電路以及儀器的穩定性等情況下，不可能達到儀
器給定的準確度要求。
儀器的偏差系數可能隨厚度范圍而變化．在這種情況下，必
須對每一分度點都應進行計算。在系統誤差為變值的情況下，也
不適宜于采用上述方法。
分度和檢驗所用裝置為標準塊和校驗裝置。
標準塊
通常在試樣上鍍覆有覆層，用更精確的儀器測定出其厚度，
這種標準試樣稱為標準塊。如在電磁法等無損檢測方法中，可臁
更精確的儀器測出厚度的塑料或金屬片，再在用儀器校準時將該
片貼置裸基體上，代替鍍覆或涂覆的標準塊，這種校準用的靼料
或金屬片稱作標準片。標準片要求不易受溫度、濕度、壓力的影．
響，而且厚度均勻。由于標準片容易和不同基體組合，而且使用也．
非常靈活，所以應用較為普遍．
標準塊是已知覆層厚度用來校準待測覆層厚度的標準量具．由于標
準塊的工作條件和要求不同，通常它分為工作標準塊和校驗標準塊。前
者是隨儀器用作日常測厚調整之用，而后者是用來對儀器進行分度和檢
驗，因而要。求具有更高準確度。
