微觀幾何量中CCD的應用-磨削加工檢測顯微鏡
微觀幾何量中的傳感器
除了用于宏觀幾何特性的傳感器外，其他傳感器能夠給出
微觀幾何量的信息。帶有導電金屬粒子的砂輪填充物，作為一個特
殊類型的微觀幾何磨損，通過應用基于感應現象的傳感器能夠被檢
測出來。傳感器由一個高導磁芯和線圈組成，它被安裝在距離表面
很近的距離處。金屬粒子在阻抗上產生變化，其能夠被進一步地處
理以用于檢測砂輪填充物的狀態。傳統的記錄磁頭也可用于檢測砂
輪表層鐵粒子的存在及相對尺寸。只有這種特殊類型的磨損在金屬
材料的磨削過程中用這種傳感器可被檢測出，這種傳感器還沒有實
現實際的應用。
目前所有介紹的技術涉及到的限制，把注意力轉到光學方
法中。因為它們的頻率范圍和表面材料的獨立性，這些方法看起來
很有希望。通過應用電荷耦合裝置(CCD)，分散光傳感器用于檢測
來自于砂輪表面的反射光。基于光學的，在切削速度下對表面特征
的測量的嘗試在文獻中做了報道。用一個快速的硅光電二極管作為
接收器，用氙氣燈或鹵素光源的光電傳感器來測量在所謂的磨平區
域的反射光的脈沖。試驗顯示在磨削過程中脈沖導致數量的變化，
因此磨損狀態的監測是可能的。
