機械元件涂層加工檢測多功能圖像顯微鏡制造廠商
涂層過程監測
提高材料表面性能，較有效且適用的方法是應用涂層。原因在于，要滿足材
料表面具有整體理想性能且均勻的要求是非常困難和昂貴的，例如材料的高硬
度、耐磨損、足夠的剛性、增強的延展性、化學穩定性、不銹性、可控制的電和
熱的傳導性能等。前面所述的一些性能中有一些彼此是相互矛盾的，同時具備這
些好性能是不可能的。表面涂層目前提供了一個滿意可靠的，且經濟的方
法來解決這些問題。有幾種方法可用于淀積表面薄膜，它們基于各種物理、化學
和熱學過程及其變形，也應考慮到底層材料的規格和被涂層元件或刀具的用途。
在不同的應用領域，涂層方法很快在材料技術方面贏得了重要地位。量化這
個事實，在20世紀90年代末期，涂層工具約占市場的95％。另一方面，涂
層在電子和工程方面也扮演了重要的角色。傳統的機械元件，例如軸承、齒輪
等，是目前涂層工業研究和開發的主要領域。無疑，涂層的應用結果有很大好
處，導致了靈活而復雜的淀積過程的發展。目前可提供單層和多層、結構或組成
不同的薄膜，帶有很好的機械、物理和化學特性，但也增加了相應的涂層淀積裝
置的復雜性。
涂層過程是特殊的多參數函數，因此它的良好的過程和完成需要嚴格且靈活
的監測和控制系統�；凛^簡單的淀積方法，包括兩個以上的參數，也必須
跟蹤整個過程，目的是達到所需的涂層性能。更進一步講，如下所述，涂層裝置
的設置及其控制的應用有很寬的變化范圍，考慮到較佳的淀積過程是合適的影響
參數選擇的結果，淀積監測必須包含在其中。
