測量機械相位檢測顯微鏡技術-外形圖像分析

相位檢測顯微鏡

　　    相位檢測顯微鏡(PDM)也指相位圖像術，是用于測量機械
的和化學的表面性質，例如，彈性、黏性、摩擦力或黏彈性的一種
技術。當儀器在任何振動懸臂模式中操作時，可產生相位感測成像
，例如，非接觸式原子力顯微鏡、間斷接觸式原子力顯微鏡或磁力
顯微鏡模式。應用力調制顯微鏡(FMM)可采集相位檢測信息。相位
檢測指的是對驅動懸臂振動的信號與懸臂振動輸出信號之間的相位
延遲的監視。相位延遲的變化反映了樣品表面機械特性的變化。

　　    常見的系統反饋回路的操作方式是，利用懸臂偏轉或振動
的變化來測量樣品的外形。當外形圖像成像時，監測相位延遲，以
至外形圖像和原材料特性可同時被采集。相位檢測的一個應用是可
獲得樣品材料特性的信息，這些樣品的外形測量用間斷接觸式原子
力顯微鏡比用接觸式原子力顯微鏡效果更好。
　　對于這些樣品，相位檢測對于用接觸式原子力顯微鏡測量外形
的力調制顯微鏡是
　　  一個有用的選擇。相位檢測顯微鏡對外形圖像提供了補充信
息，以鮮明的高度對比表面成像形
　　  式上，顯示了黏性標注表面屬性的變化。此技術提供了0．1
度相位檢測的分辨率。

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