顯微機械加工于測量的工具-測量光學儀器

加工精度的評估

　　    在顯微機械加工中，對加工性能進行評估有時很困難，尤
其在加工精度方面。鉆小孔是顯微機械加工中的較簡單的典型例子
。然而，如果物體上孔的直徑小于0．5mm，深度大于lmm，那么測
量儀器制造商就不能提供合適的尺寸測量方法。
　　
　　    由于較近的應用經常需要孔的直徑為100／μm或50μm，
對于測量內部尺寸技術的發展，例如，測量孔的尺寸，在生產技術
中是迫切的需要。然而，對于小尺寸物體的測量，物體固定的誤差
常常強烈地影響測量結果。
　　    這些導致了在加工中對測量的需要(OMM)。OMM是指其測量
的執行不需要從加工小孔的機床上從夾緊位置移動物體。在OMM中
，從加工到測量的完成沒有較大的誤差產生。

　　    另一方面，用于測量的工具必須安裝在機床上，因為在0M
M中，加工系統和測量系統之間坐標的應用是基本的。因為在機床
和測量裝置之間的部件需要較寬的設計間隙，所以這種類型的安裝
通常較困難。
　　    較近開發的測量技術稱為振動掃描(VS)方式。在某些應用
方面能夠提供這個問題的解決辦法。

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