儀器常識側力顯微鏡(LFM)應用于測量懸臂的側面偏轉
側力顯微鏡
側力顯微鏡(LFM)用于測量懸臂的側面偏轉(扭曲)，這個
偏轉產生于平行樣品表面的懸臂上的力。側力顯微鏡用于研究由非
均勻性材料表面產生的摩擦力圖像的變化，也可獲得任意表面輪廓
增強的圖像。
懸臂的側面偏轉通常有兩個來源，表面摩擦力的變化(頂
端)和斜率的變化(末端)。第一種情況，探針經過某些區域時，有
很大的摩擦力，能引起懸臂很大程度的扭曲。在第二種情況，當懸
臂遇到很陡的斜度時會扭曲。為了區分出不同的效果，側力顯微鏡
與原子力顯微鏡將同時采集圖像。側力顯微鏡與原子力顯微鏡一樣
，用位置靈敏光電探測器檢測懸臂偏轉。側力顯微鏡的不同是，位
置靈敏光電探測器也能感測懸臂的扭曲或側面偏轉。
在磨削過程中，存在同樣的問題，即溫度值以及與時間和空間相關的大的溫
度梯度，并被大量的幾何未定義的切削刃和普遍必需的冷卻液進一步強化。
在這些研究中，用閉合線路的銅熱導線和蒸發到工件的薄膜熱電偶測試溫
度。結果顯示這兩種類型傳感器系統的差異，薄膜熱電偶所確定的溫度與閉合線
路相比平均值低30％，這可以通過不完全的絕緣和蒸發傳感器很大的銅焊點來
解釋。除了這些不同外，一個主要的發現是，在同樣磨削條件下，與傳統的
氧化鋁磨料相比較，玻璃粘結CBN砂輪有更優良的性能。
結果顯示在切削或磨削中對溫度測量只有通過較高的技術努力才能實現。工
件或刀具的修正與經濟和時間投資約束了這些測量，對基本的研究和工業應用都
不可能．
