掃描熱顯微鏡測量空間分辨率依賴于樣品的特征

(1)溫度分辨率

　　  探測器探測的溫度被校準后，其典型溫度分辨率是0．2℃溫
度校準是探測器的依據。探測器的溫度分辨率受傳感器電子噪聲限
制。
(2)空間分辨率

　　    掃描熱顯微鏡測量的空間分辨率依賴于樣品的特征。較好
的觀察分辨率是在半高寬(FWHM)150～200nm，作為磁數據儲存和讀
取元件的電子交叉磁阻條紋的測量。應注意三個主要因素影響了溫
度梯度成像的空間分辨率；由于樣品原材料相對于熱源有熱絕緣的
背景特征，熱會在樣品表面傳播；熱源空間的延伸；探針與所描繪
的相關表面的實際熱源的距離。
　　    具有較好的表面上的熱空間分辨率的樣品(因此，有較大
的熱梯度)，有小的熱源在熱絕緣底層，該熱源非常接近所描繪表
面。理想的樣品也能提供在線圈與探針傳感器之間合適的電絕緣。

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