光學3D測量寬區域取樣磨損特征-粗糙表面光學計量儀

光學測量方式

　　光學3D測量方式允許快速獲得寬區域取樣點。通過一些不同視點
的測量，用所需的分辨率，就可能測量到所有的磨損區域和用于決定
工件外形以及工件表面特征的區域。所測量數據被轉換成普通坐標系
統之后，通過取樣點的3D設置，這個樣品能被描繪出來。通過取樣數
據，確定了外形、表面，以及磨損特征。這種方法的好處是，測量過
程自動化程度很高，并且不受操作者影響的約束。而且還具有高的測
量速度，被測量物體表面作為一個整體被獲得。尤其適合于獲得微觀
幾何構造的測量值，其操作原理是白光干涉儀或分散光方法。

白光干涉儀測量方法

　　特殊的白光干涉測量方法允許在光學粗糙表面獲得寬區域的形態
。被稱為相干雷達的測量系統，基于邁克遜干涉儀原理，其測量光束
中的鏡面被測量物體所代替。用發光二極管作為光源，引起了顯示典
型調制的白光干涉，其為測量光束與參考光束之間相移的函數，當沒
有相位漂移存在時，為較大值，例如，測量物體在參考表面時。

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