傳感器在機械測量中的應用-測量工具顯微鏡技術
接觸式觸發探測器
較簡單的傳感器就是所謂的接觸式觸發探測器。它擁有一個預應力的扭結，
在每一個作用方向能產生5～6倍的同等的方向力。檢測完成后，這個檢測裝置
移回到空間固定的靜止位置。這是惟一的用三個支撐點制作的探測器。這就是著
名的球和圓柱結合的原理。
傳感器信號的產生通過打開和關閉一個或多個機械觸點或在探
測器和工件間建立外部電子觸點。這個信號導致當前電流值對應的長度測量值在所
有坐標軸上立即凍結。當探測器相對工件移動時產生的測量稱之為動態測量。
為了得到高的精確度，剛性結構是此裝置必需的，否則測量所需的加速力會
引起裝置變形，造成結果不準確。這點并不是完全受精確度的影響‘。其取決于預
加負荷和測量方向。這些問題通過壓電傳感器可以克服。接觸式觸發傳感器導致
觸發信號分辨率擴大和壓縮。無論何時，每一個單獨的點都應該迅速地取得，接
觸式觸發探測器可用于工件測量。
連續測量的探測器系統
高質量的三坐標探測器實現了接觸式三坐標分辨率測量
技術。通過完全鎖定機械測量坐標的坐標軸這種方法，可以讀出長度測量值。與
用轉換探測器測量的動態測量相對，這個測量是靜止的。而且實際
結果表明坐標測量機的準確率在增加。
三個正交排列的平行四邊形彈簧構成所有軸的測量探測器。平行四邊形的偏
差包括在感應測量系統中的每一個軸中。其中鐵磁芯在線圈中運動產生一定比例
的距離模擬信號。每一個平行四邊形都由鎖定在機械的中心位置馬達開關來校準
產生一個用于測試的、被定義的測量力是很復雜的。為了這個目的，移動的
線圈被機械地連接在每一個平行四邊形上，自己在環形磁鐵上移動。通過線圈中的
正向或負向電流(根據感應方向)，可使測量力在可選范圍內產生(O．1～1N)。
自動控制部分在電流傳感器軸上移動，用觸針檢測完工件后的偏轉，將引起
測量力和測量驅動開關的組合，通過感應卡尺的信號進行位置調節。驅動器停止
在零點，也就是說停止在平行四邊形的中心位置。在其他兩個軸上的探測器通過
夾鉗決定其空間的零點位置。通過探測器頭部能夠同時測量三個軸。測量力和方
向向量決定于探針頂端整體測量距離。對于探測器主要元件的變形，這是簡單的
修正。
這是在CMM中所有的三個測量坐標都適用的在長度測量值中的附加值。
這是測量傳感器應用坐標測量技術的一個重要的基本原理。
