光切顯微鏡技術應用于微器件尺寸測量的優點
經比較，用光切法解決目前微器件的尺寸測量問題有如下
優勢：
(1)目前我國微細加工精度一般在1～10μm水平，微
器件及微機械的整體尺寸大多在i0 mm數量級。雖然光切法的精度
相對
不是特別高，但結合微加工現狀來考察其精度、測量范圍和視場直
徑，光切法很適應實際加工中的測量要求。
(2)用光切法觀察到的圖像是具有一定寬度的惟一一條截面
輪廓，光柵法和顯微干涉法的圖像為多條干涉條紋。光切法的測量
觀察更直觀；若進一步采用圖像測量技術的話，用光切法得到的圖
像更容易處理。
(3)基于光切法的儀器結構相對較簡單，很容易實現。
常用的雙管(光切)顯微鏡就是依據光切原理工作的。在原有
儀器基礎上，進行功能上的擴充和改善設計，這對較快地解決實際
生產中的迫切存在的測量問題具有積極的現實意義。
基于光切法的微結構尺寸測量
微結構尺寸測量
根據光切原理設計的顯微鏡，都有兩個顯微鏡：一個把細窄的
光帶投射到被測表面上，另一個進行觀察測量。有的在外形上就具
有兩根分立鏡管，俗稱為雙管顯微鏡。
光切法既可測高度方向尺寸，又可以測平面上的長度尺寸。只
是讀數過程要分別進行，數值換算稍有差異。這樣在實際測量微結
構時，以測量難度大的高度方向尺寸為重點，同時可兼顧平面尺寸
