提高光切顯微鏡測量精度的結構改善-光學儀器技術
顯微物鏡
光切顯微鏡測量微觀尺寸的范圍，一方面受物鏡分辨能力的
限制和儀器總的放大倍率的影響，這決定了所測量的較小極限即
測量精度；另一方面物鏡的成像深度(即景深)限制了可測的較大
極限。儀器的分辨能力和景深都與物鏡的數值孔徑有關，因此為了
擴大儀器的測量范圍，應配備多對不同的放大倍率和數值孔徑的
顯微物鏡組。
普通雙管顯微鏡測量范圍為0．8～80微米，比顯微干涉法和投
影光柵法范圍大得多，但有些微機械器件具有很大的高度尺寸(高
達幾百微米)，所以有必要對顯微物鏡組進行擴充。對同一物鏡組，
測量精度、測量范圍和視場直徑是相關的，更換物鏡時需同時兼顧
三方面的參數要求。
2．光源與狹縫
光源對讀數測量的精度影響很大。讀數時以圖像邊緣為測量
依據，所以狹縫的邊緣要整齊尖銳，兩半片要具有較好的平行度和
可調節性。此外，因為測量的圖像為一截面上的輪廓，所以得到的
光帶寬度不宜過大(一般控制在0．18 mm以下)，如果窄光帶對應
的圖像亮度不夠，可將普通的照明光源換成小型激光器，圖像質量
將會得到提高。
在圖像測量中也同樣存在放大倍率與照明的改造設計問題。
