微電子學測量和自動化技術應用-測量圖像顯微鏡制造
隨著培育方法的不斷改進,目前已經能由不同物質,尤其是化學
元素制取出來近乎完整的,而且含有二維或一維缺陷的單晶體,它
們接近于理想的固體,從而排除了晶體,點陣缺陷的干擾,可用于
一些特殊場合,如用來研究固體特性。
高純材料“占領”了微電子學
平面外延生長技術的應用可以說明,在現代微電子學中,從技術
角度看已經卓有成疚地掌握了高純材料的使用與加工,現代化微電
子學電路由一單晶硅片組成,它經過一系列連續加工步驟之后獲得
一特定結構,首先,在晶片中搞很多彼此隔絕的區域,在這些區域
中交替地產生半導體區,按電路圖將不同區域通過用金屬連通并同
時與其它區域絕緣,通過這種方法產生的整個電子線路中,各個區
域承擔晶體三極管,、二極管、電阻等功能,根據目前的技術水平
,在幾平方毫米橫載面和十分之幾毫米厚的晶片上可以有10到10個
這種區域,其中每一單個區域承擔著以前單個電子元件的功能,結
果,由這些小片制成完整的電子線路,例如復雜的放大器或邏輯電
路,從而制成小型現代化的電子計算機和其它電子儀器。
總之,這里粗略涉及的微電子學中的平面外延技術,是高純單晶
材料加工和應用的一個很突出的范例,目前,在工業發達國家用這
種方法大量生產半導體集成電路,微電子裝置人優點主要是依可靠
性高,尺寸小,因此這種制造工藝有很好的經濟效果,這樣就可以
使微電子學日益進入各個生產領域,從計算技術,到測量和自動化
技術,直到日用消費電子產品,而原來微電子學主要用在宇航和軍
事技術中,此外,它也是極其充分利用材料的較先進的事例。