超精密制造三維測量加工表面檢測光切顯微鏡
通過上述納米機械加工表面微觀形貌的各類檢測儀器與方法的
對比，明確基于原子力顯微鏡的納米加工表面檢測的基礎理論、基
本方法、儀器技術等問題，從三維測量角度建立納米加工表面原子
力顯微鏡檢測的基本概念、模型、測量方法，通過對微觀形貌的AF
M三維檢測，發現超精密加工中的問題�？偨Y三維表面形貌評價體
系中各參數的定義和計算方法，對評定基準產生、濾波和校準量塊
等一系列相關問題進行討論。三維測量和二維測量所提取的表面信
息不同，測量參數值也不同；實驗結果的分析對比表明，一般三維
粗糙度測量值比二維測量值大。
在研究三維表面微觀形貌的譜矩特征基礎上，系統地提出三維
表面粗糙度參數的譜矩表達方式。對微納米表面和表層完整性的評
價性能的建議也具有較強的啟迪作用。
在未來的工作中，AFM不僅可以檢測復雜的三維表面微觀形貌
，可以從三維信息中用小波等方法提取規律性的誤差，還可以建立
測量結果與超精密制造(各種加工方法加工工藝)之間的因果關系，
預報表面質量及指導加工制造的工藝，特別是如何根據表面測量數
據深入了解加工工藝及預報加工表面的質量等，為納米級機械加工
檢測技術提供理論指導。這些工作將為原子力顯微鏡提供更廣泛的
應用空間。
