零件加工精密制造表面質量檢測光切顯微鏡
隨著精密、超精密制造技術的發展，對零件表面加工質量的要求越
來越高，在追求和探索各種超精密表面加工新工藝、新方法的同時
，對表面質量的檢測理論、檢測方法與檢測儀器提出了更高的要求
。表面質量檢測理論必須適應各種納米表面加工工藝研究的新要求
，表面質量檢測評價方法必須科學合理以適應各類超精密零件的制
造水平和使用特性，檢測儀器的檢測精度必須高于零件加工制造的
精度水平才能有效指導加工工藝。目前傳統的機械觸針接觸式、光
學干涉非接觸方式的表面質量的檢測理論與方法已經不能完全適應
納米級表面質量檢測的新要求。原子力顯微鏡發明之后的二十多年
里，其在精密工程領域得到了大量應用，成為納米量級機械加工表
面質量與表面形貌檢測的重要儀器。一方面，原子力顯微鏡很好地
實現了納米量級機械加工表面質量的高精度檢測，豐富了三維納米
表面形貌的測量理論，更精確地實現了超精密加工表面形貌的仿真
和預報；另一方面，由于其表面測量的主要工作原理宏觀上與傳統
的機械觸針式測量方法極其相似，因此在目前測量納米級表面形貌
時沿用了傳統的測量理論體系。事實上，對于基于原子力顯微鏡的
納米表面測量，既需要完善測量理論體系，彌補測量方法和儀器表
征方面的不足，又需要對原子力顯微鏡測量納米表面的測量機制和
評價表征方法進行新的探索。
